蝕刻浴樣品中 HF、HNO3、短鏈有機酸和 H2SiF6 的直接離子色譜測定。氟化物、硝酸鹽、乙酸鹽和硫酸鹽等標準離子通過抑制電導率檢測進行測定，而溶解的硅酸鹽則在與鉬硅酸的下游柱后反應 （PCR） 相同的運行中通過分光光度法檢測。通過離子色譜法（IC）和滴定法獲得的幾種商業HF-HNO3-H 2SiF6混合物的分析結果顯示出良好的一致性，這證實了所提出的“雙重”檢測IC方法在控制酸性制絨液成分方面的適用性。